Огляд. У цьому розділі наведено огляд трьох типів датчиків вологості MEMS: ємнісних, п’єзоелектричних і резистивних датчиків. Ємнісні датчики використовують зміну діелектричної проникності чутливого матеріалу, тоді як п’єзоелектричні датчики вимірюють зсув резонансної частоти для визначення вологості. Резистивні датчики виявляють зміну вологості шляхом вимірювання зміни питомого опору. Як правило, ємнісні датчики мають вищу лінійність, більш швидкий відгук і температурну компенсацію, але вони чутливі до газових забруднень порівняно з резистивними датчиками. П'єзоелектричні датчики не вимагають зовнішнього джерела живлення, на відміну від ємнісних і резистивних датчиків. Резистивні датчики менш дорогі у виробництві та мають простішу схему зчитування порівняно з двома іншими типами.